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半導體突破奈米 成大低成本研發埃米受矚目 2024/07/23 10:25 〔記者洪瑞琴/台南報導〕目前半導體製程主要是奈米等級,但產業界持續朝向更微小的 「埃米(奈米的 10 分之 1)」推進,國立成功大學材料科學及工程學系助理教授徐邦昱 團隊利用自行組裝的設備,發揮車庫創業精神,讓細小的半導體分子能自動整齊排列在奈 米溝槽內,可操作精度達到埃米等級,這項成果已發表在國際期刊,受到國際矚目。 研究成果發表在國際高分子領域的一流期刊 Macromolecules。團隊最自豪的是學生們靠 著自行組裝的便宜設備,研發最先進的技術。徐邦昱表示,在研發的過程中需要用到許多 先進儀器,但動輒上千萬元,在工學院與材料系的支持下,學生們以較少經費、自行動手 組裝設備。 團隊成員包括材料系碩士生,楊永平、何承泰、黃宇瀚及許子承,整個實驗室裡都是自行 組裝的設備,像是結合極低溫、微拉曼散射與可見光吸收3個系統的設備,市面上根本找 不到,即使有機會買到也要上千萬元,但團隊花了200萬元就組裝出來,而先進製程需要 用到的無光罩雷射微影系統,市售價格600到1000萬元,團隊則是花了20多萬元就組裝出 徐邦昱表示,目前半導體製程主要是在微小的基板上,依靠相近的原子晶格,透過高真空 磊晶設備控制長出晶體,再蝕刻提昇精準度,要讓細小的分子乖乖聽話,長在該長的地方 ,很不容易,因此才需要價格昂貴的設備,營造潔淨單純的反應環境。目前已達到小於3 奈米(10億分之1公尺)的線寬精度,但持續推向埃米(10 埃米等於 1 奈米)精進,是 產業的必然,目前大家都在努力中。 徐邦昱說明,這項研究成果廣受國際注目的原因,在於打通了埃米級操作分子的多項技術 瓶頸,成功地大面積量化操作液相分子有序化磊晶。定量化控制複雜的分子間交互作用行 為,克服過往認為不可操作的分子運動,將材料的操作精度推進至埃米尺度。 https://reurl.cc/3X8OLj -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 61.218.53.138 (臺灣) ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1721703657.A.A06.html
electronicyi: 埃 沒有米吧...? 07/23 11:03
cosmite : 好厲害 07/23 11:03
mianbowhow : 台積收 07/23 11:55
jerrylee666 : 有再現性嗎? 07/23 12:00
F20V : 這個強,台積電應該要資助這學校才對 07/23 12:13
Kroner : 我有在用UC2,感覺效果還不錯欸! 07/23 13:28
BoXeX : 沒再現性論文不好過吧 不過這些應該真的GG全收了 07/23 12:13
BoXeX : 有種默默的哀傷 明明做到頂尖卻只有賣肝公司能進 07/23 12:13
ijk1 : 厲害 畢業保送GG產線製程 07/23 12:28
edison106 : 產線留好您的位置 07/23 12:36
Kroner : 吃過關節保健品,都沒什麼效果,有推薦的牌子嗎? 07/23 14:44
asd78970 : 埃就埃 埃米是什麼小 07/23 12:38
wiesgame : 蛤…碩班不都這樣玩嗎?特別的點是? 07/23 12:43
venomsoul : 埃米是殺小啦 07/23 12:49
QuantumHsia : 記者不懂別瞎掰單位名稱 07/23 13:28
Kroner : 不動對關節最好,拎北都躺著 07/23 15:23
wolf6766 : 記者真逗 07/23 13:42
by19 : 有對岸手磨5奈米厲害嗎? 07/23 13:47
Barrage : 台灣高教是真的窮 07/23 14:13
BensonLinZW : 成大和台積早就在合作了 07/23 14:44
Kroner : 我有在用UC2,感覺效果還不錯欸! 07/23 16:19
randystock : 埃米納姆? 07/23 15:02
wju1230 : 這群人不考慮先開公司賣儀器嗎 XD 07/23 15:03
boy3526 : 推19樓,真的!這才是遠見。應該趕快註冊的弄一弄 07/23 15:16
DuskStan : 這故事我看過 研究到後面 他老婆會誤觸設備縮小消 07/23 15:23
Kroner : 關節痛這種東西,比鬼還可怕! 07/23 17:23
DuskStan : 失在次元裡 07/23 15:23
bettyangel : 包子現在又騙烏克蘭跟他合作偷技術= = 07/23 15:43
bettyangel : 以及用此破壞民主國家 07/23 15:53
jack529 : 教授準備收割 07/23 16:19
Chricey : 看到有人提到關節痛,我就想到有一篇UC2推薦的文章 07/23 17:34
qoo60606 : 埃米是三小 07/23 16:22
houseguy : 米不是m嗎? 07/23 17:14
neil0611 : 尊嘟甲嘟? 07/23 17:19
QooQooQ : 不能這樣算吧....市售設備的價格是加上利潤成本研發 07/23 17:23
Kroner : 看到關節痛,我就想起我姨媽 07/23 18:20
QooQooQ : 費用,學校搞得是純算買東西的費用...你把學校的人 07/23 17:24
QooQooQ : 事成本 學生加班研究的費用都算上去在算算看這台設 07/23 17:24
QooQooQ : 備要多.... 07/23 17:24
chons2332 : SAM? 07/23 17:34
Chricey : 我阿嬤說吃豬腳補關節,豬腳吃起來 07/23 19:21
c8c8c8 : 埃就埃。誰跟你埃米 07/23 17:55
qwe78971 : ASML 興趣比較高吧 07/23 18:01
wzmildf : 欸不是,可以操作半導體分子和線寬兩回事好嗎? 07/23 18:19
wzmildf : 現在ALD早就都用A當單位在沉積了 這種只能玩玩研究 07/23 18:20
Kroner : 關節痛這種東西靠UC2就對了 07/23 20:22
wzmildf : 企劃案吧,是能幹嘛... 07/23 18:20
storym94374 : 又在埃米 記者都亂掰習慣了吧 07/23 18:34
th19883617 : 學術玩具跟量產還差得遠勒 07/23 18:54
tumusi : 這些人送去大陸開公司,用幾百萬就可以造出唉米製 07/23 19:21
Chricey : 求推薦UC2,樓下請提供三家 07/23 21:07
tumusi : 程,應該可以騙到不少錢 07/23 19:21
faniour : 發paper用的玩具 07/23 20:21
tpegioe : 市售設備是為量產設計,實驗室製造規模很小,價格 07/23 20:22
tpegioe : 不能直接比 07/23 20:22
Chricey : 吃過關節保健品,都沒什麼效果,有推薦的牌子嗎? 07/23 22:33
douge : oxide semiconductor 現世 可以直接用 ALD生長 07/23 20:37
douge : 這些研究很難取代了 07/23 20:37
douge : 偏偏電性又頂 07/23 20:37
Merman19 : 厲害了 我就說那個良率怎搞 07/23 21:07
Chricey : 關節痛這種東西,比鬼還可怕! 07/24 09:22
iPadProPlus : 埃米 07/23 21:22
TISH12311 : 百米 米 微米 毫米 厘米 奈米 精米 糙米 07/23 21:55
CrabBro : 如果是真的還滿屌的,但據經驗常理不太可能 07/23 22:19
leo255112 : 雖然你怎樣也不可能突破angstrom , 趁這個極限到來 07/23 22:33
Kroner : 喔喔喔,UC2 真的是超讚的啦 07/24 16:31
leo255112 : 之前都還有可能性存在 07/23 22:33
a120463 : 正名Å 07/23 22:47
GGINDOWBOW : 幹 真的能用土炮法長出埃等級的那很屌欸 07/24 05:24
tim790809 : 幾十萬就可做了 代表ASML真的敲竹槓.. 07/24 09:22
Chricey : 有人用過中醫針灸治療關節痛的嗎?效果如何? 07/24 18:26
invidia : 蓬萊米 07/24 09:42
Sam0453 : 無光罩曝光機throughput跟resolution不可能取代光 07/24 15:18
Sam0453 : 罩啦,ASML貴是有它的道理 07/24 15:18
jhjhs33504 : 埃好歹是個標準單位 為啥一天到晚寫錯? 07/24 16:31
Chricey : 我有在用UC2,感覺效果還不錯欸! 07/25 11:38
anson26666 : 上面有些留言好好笑,真以為台積 RD 跟產線都在搞爆 07/24 16:49
anson26666 : 肝那套?可笑 07/24 16:49
nxuanr : 台灣加油啦 07/24 17:41
ggyypp616 : 小彬彬又能生了 07/24 18:26
Kroner : 吃過關節保健品,都沒什麼效果,有推薦的牌子嗎? 07/24 18:26
bobjohns : 那台積電找他們合作 做機台就好 一台造價只要10分 07/25 00:45
bobjohns : 之1 一年光省資本支出就省200多億美元 比自己賺 07/25 00:45
bobjohns : 的還多 07/25 00:45
zx1986 : 太神了吧 07/25 11:38
Chricey : 吃過關節保健品,都沒什麼效果,有推薦的牌子嗎? 07/25 11:38
black82465 : 文組記者 07/25 14:57
mike0 : 通篇廢文,到底做到幾A也沒寫,良率也沒寫 07/26 00:25